文献
J-GLOBAL ID:200902078090068831
整理番号:92A0192928
高安定・高性能・微小AlGaAs/GaAs HBT IC 製作技術
Advanced IC Fabrication Technology Using Reliable, Small-size, and High-speed AlGaAs/GaAs HBTs.
著者 (6件):
入戸野巧
(NTT LSI研)
,
永田公一
(NTT LSI研)
,
山内佳紀
(NTT LSI研)
,
牧村隆司
(NTT LSI研)
,
伊藤弘
(NTT LSI研)
,
中島長明
(NTT LSI研)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
91
号:
429(ICD91 179-191)
ページ:
61-66
発行年:
1992年01月21日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)