文献
J-GLOBAL ID:200902078344973823
整理番号:92A0624400
InAlAs上のInPの選択的化学エッチング
Selective Chemical Etching of InP Over InAlAs.
著者 (4件):
HE Y
(Univ. California at San Diego, California)
,
LIANG B W
(Univ. California at San Diego, California)
,
TIEN N C
(Univ. California at San Diego, California)
,
TU C W
(Univ. California at San Diego, California)
資料名:
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻:
139
号:
7
ページ:
2046-2048
発行年:
1992年07月
JST資料番号:
C0285A
ISSN:
1945-7111
CODEN:
JESOAN
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)