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文献
J-GLOBAL ID：200902078630805105
整理番号：92A0844758
可視レーザダイレクトイメージング用化学増感フォトレジスト
A Chemically Amplified Photoresist for Visible Laser Direct Imaging.
WALLRAFF G M
(IBM Research Division, CA)
,
ALLEN R D
(IBM Research Division, CA)
,
HINSBERG W D
(IBM Research Division, CA)
,
WILLSON C G
(IBM Research Division, CA)
,
SIMPSON L L
(IBM Corp., NY)
,
WEBBER S E
(Univ. Texas, TX)
,
STURTEVANT J L
(Univ. Texas, TX)
資料名：
Journal of Imaging Science and Technology
(Journal of Imaging Science and Technology)
巻： 36 号： 5 ページ： 468-476 発行年： 1992年09月
JST資料番号： D0429B ISSN： 1062-3701 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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