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文献
J-GLOBAL ID：200902079002421868
整理番号：93A0016892
EPMAによるけい素上の(Y2O3)x(ZrO2)1-x膜の定量分析
Quantitative Analysis of (Y2O3)x(ZrO2)1-x Films on Silicon by EPMA.
AMMANN N
(RWTH Aachen, Aachen, DEU)
,
LUBIG A
(K.f.A. Juelich, Juelich, DEU)
,
KARDUCK P
(RWTH Aachen, Aachen, DEU)
資料名：
Microchimica Acta
(Microchimica Acta)
号： Suppl 12 ページ： 213-219 発行年： 1992年
JST資料番号： D0076A ISSN： 0026-3672 CODEN： MIACAQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オーストリア (AUT) 言語： 英語 (EN)
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