文献
J-GLOBAL ID:200902079759409326
整理番号:87A0505827
Si上の乾燥SiO2と重水素ガスの相互作用 イオンビームによる研究
Interaction of deuterium gas with dry SiO2 on Si: An ion-beam study.
著者 (1件):
MYERS S M
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
61
号:
12
ページ:
5428-5437
発行年:
1987年06月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)