文献
J-GLOBAL ID:200902079761390489
整理番号:87A0298971
セルフアラインで製作のバイポーラトランジスタ内のキャリア増倍 工程のモニタリングおよび故障解析への適用
Carrier multiplication in self-aligned bipolar transistors - Applications in process monitoring and failure analysis.
著者 (1件):
REISCH M
(Siemens AG, Muenchen, DEU)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1986
ページ:
654-657
発行年:
1986年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)