文献
J-GLOBAL ID:200902080087324694
整理番号:89A0239727
生産用イオン注入器,Nissin NH-20SR
Production implanter Nissin NH-20SR.
著者 (6件):
TAMURA Y
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
NOGAMI M
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
TANAKA M
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
MAEDA T
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
KUMASAKI H
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
,
TAMURA S
(Nissin Electric Co., Ltd., Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
37/38
ページ:
620-623
発行年:
1989年02月
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)