文献
J-GLOBAL ID:200902080297229430
整理番号:92A0050691
大気圧からの真空チャンバ排気中における水エーロゾル汚染の減少
Reduction of water aerosol contamination during pumping of a vacuum chamber from atmospheric pressure.
著者 (2件):
O’HANLON J F
(Univ. Arizona, Arizona)
,
SHIEH J-J
(Univ. Arizona, Arizona)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
9
号:
5
ページ:
2802-2807
発行年:
1991年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)