文献
J-GLOBAL ID:200902080380143874
整理番号:86A0177072
誘電体積層構造の乾式エッチングによるモザイク状色フィルタの作製
Fabrication of mosaic color filters by dry-etching dielectric stacks.
著者 (6件):
CURTIS B J
(RCA Ltd., Switzerland)
,
GALE M T
(RCA Ltd., Switzerland)
,
LEHMANN H W
(RCA Ltd., Switzerland)
,
BRUNNER H
(RCA Ltd., Switzerland)
,
SCHUETZ H
(RCA Ltd., Switzerland)
,
WIDMER R
(RCA Ltd., Switzerland)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
4
号:
1
ページ:
70-74
発行年:
1986年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)