文献
J-GLOBAL ID:200902080589688940
整理番号:87A0047774
シランを用いた化学蒸着における気相のシリコン原子 レーザ励起蛍光測定とモデル予測との比較
Gas-phase silicon atoms in silane chemical vapor deposition : Laser-excited fluorescence measurements and comparisons with model predictions.
著者 (3件):
BREILAND W G
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
HO P
(Sandia National Lab., NM, USA)
,
COLTRIN M E
(Sandia National Lab., NM, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
60
号:
4
ページ:
1505-1513
発行年:
1986年08月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)