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文献
J-GLOBAL ID：200902080804135419
整理番号：91A0234339
圧電抵抗素子用多結晶炭化けい素膜
Polycrystalline silicon carbide films for piezoresistive elements.
ONUMA Y
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
KAMIMURA K
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
NAGURA Y
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
YI C H
(Shinshu Univ., Nagano, JPN)
,
KIUCHI M
(Nagano Keiki Co., Ltd., Nagano, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 2 号： 4 ページ： 207-216 発行年： 1991年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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