文献
J-GLOBAL ID:200902081319143396
整理番号:89A0125983
メチル化非晶質シリコン製作のためのシラン-メタン混合の選択的低パワープラズマ分解
Selective low-power plasma decomposition of silane-methane mixtures for the preparation of methylated amorphous silicon.
著者 (3件):
SOLOMON I
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
SCHMIDT M P
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
,
TRAN-QUOC H
(Ecole Polytechnique, Palaiseau, FRA)
資料名:
Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics
(Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻:
38
号:
14
ページ:
9895-9901
発行年:
1988年11月15日
JST資料番号:
D0746A
ISSN:
1098-0121
CODEN:
PRBMDO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)