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文献
J-GLOBAL ID：200902081689577875
整理番号：92A0050694
プラズマ処理中におけるラスタレーザ光散乱研究 粒子汚染捕獲現象
Rastered laser light scattering studies during plasma processing: Particle contamination trapping phenomena.
SELWYN G S
(IBM Research Division, New York)
,
HEIDENREICH J E
(IBM Research Division, New York)
,
HALLER K L
(IBM Research Division, New York)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 9 号： 5 ページ： 2817-2824 発行年： 1991年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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