文献
J-GLOBAL ID:200902081799531218
整理番号:90A0719449
センチメートル単位の移動レンジで,単位移動寸法がミクロン以下の線形圧電ステップモータ
A linear piezoelectric stepper motor with submicrometer step size and centimeter travel range.
著者 (3件):
JUDY J W
(Univ. Minnesota, MN)
,
POLLA D L
(Univ. Minnesota, MN)
,
ROBBINS W P
(Univ. Minnesota, MN)
資料名:
IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control
(IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻:
37
号:
5
ページ:
428-437
発行年:
1990年09月
JST資料番号:
H0369A
ISSN:
0885-3010
CODEN:
ITUCER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)