文献
J-GLOBAL ID:200902081967598803
整理番号:86A0445337
けい素中のひ素過飽和固溶体の急速熱焼鈍における欠陥
Defects in supersaturated solid solution of arsenic in silicon at rapid thermal annealing.
著者 (4件):
POPOV V P
(Inst. Semiconductor Physics Academy of Sciences of the USSR)
,
DVURECHENSKII A V
(Inst. Semiconductor Physics Academy of Sciences of the USSR)
,
KASHNIKOV B P
(Inst. Semiconductor Physics Academy of Sciences of the USSR)
,
POPO A I
(Inst. Semiconductor Physics Academy of Sciences of the USSR)
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applied Research
(Physica Status Solidi. A. Applied Research)
巻:
94
号:
2
ページ:
569-572
発行年:
1986年04月
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
0031-8965
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)