文献
J-GLOBAL ID:200902082746317709
整理番号:86A0349455
光学的な線幅制御法による0.5μm以下のパターンの作製
Applying optical methods to aid in linewidth control for the development of sub-half-micron geometries.
著者 (1件):
RUBY R
(Hewlett-Packard, California)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
4
号:
1
ページ:
269-272
発行年:
1986年01月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)