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文献
J-GLOBAL ID：200902082970823300
整理番号：91A0780997
連続またはパルスラジオ周波励起によるシラン-アルゴン低圧放電中の微粒子の生成と挙動
Particle generation and behavior in a silane-argon low-pressure discharge under continuous or pulsed radio-frequency excitation.
BOUCHOULE A
(Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
,
PLAIN A
(Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
,
BOUFENDI L
(Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
,
BLONDEAU J P
(Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
,
LAURE C
(Univ. Orlenans, Orleans, FRA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 70 号： 4 ページ： 1991-2000 発行年： 1991年08月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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