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文献
J-GLOBAL ID：200902083662514068
整理番号：89A0558511
窒化けい素前駆体粉末のグロー放電による合成
Glow-discharge synthesis of silicon nitride precursor powders.
HO P
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
BUSS R J
(Sandia National Lab., New Mexico)
,
LOEHMAN R E
(Sandia National Lab., New Mexico)
資料名：
Journal of Materials Research
(Journal of Materials Research)
巻： 4 号： 4 ページ： 873-881 発行年： 1989年07月
JST資料番号： D0987B ISSN： 0884-2914 CODEN： JMREEE 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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