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文献
J-GLOBAL ID：200902084069962387
整理番号：89A0496013
Si表面上におけるハロゲン含有ガス分子の熱分解過程
Pyrolytic process of halogen-containing gas molecule on Si surface.
土屋八郎
(京都工繊大 工芸)
,
後藤英和
(京都工繊大 工芸)
,
森勇蔵
(大阪大 工)
,
広瀬喜久治
(帝国女大)
,
宮崎真
(京都工繊大 工芸)
,
安田光宏
(住友電気工業)
,
植松克彰
(関西日本電気)
資料名：
精密工学会誌
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 55 号： 8 ページ： 1475-1480 発行年： 1989年08月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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