文献
J-GLOBAL ID:200902085016653680
整理番号:90A0605555
Si中のFeを検出する迅速で検査用試料作製の必要がない方法
A fast, preparation-free method to detect iron in silicon.
著者 (2件):
ZOTH G
(Siemens AG, Munich, DEU)
,
BERGHOLZ W
(Siemens AG, Munich, DEU)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
67
号:
11
ページ:
6764-6771
発行年:
1990年06月01日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)