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文献
J-GLOBAL ID:200902085016653680   整理番号:90A0605555

Si中のFeを検出する迅速で検査用試料作製の必要がない方法

A fast, preparation-free method to detect iron in silicon.
著者 (2件):
ZOTH G
(Siemens AG, Munich, DEU)
BERGHOLZ W
(Siemens AG, Munich, DEU)

資料名:
Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)

巻: 67  号: 11  ページ: 6764-6771  発行年: 1990年06月01日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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