文献
J-GLOBAL ID:200902085634598836
整理番号:84A0325903
バリヤ層 マイクロエレクトロニクスでの原理と応用
Barrier layers: Principles and applications in microelectronics.
著者 (1件):
WITTMER M
(IBM, New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
2
号:
2 Pt 1
ページ:
273-280
発行年:
1984年04月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)