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J-GLOBAL ID：200902085687211577 整理番号：87A0052359

いろいろな方法で形成したAl₂O₃膜の評価

Characterization of Al₂O₃ films deposited by various methods.

著者 (3件)：

RAJOPADHYE N R

(Univ. Poona, Pune, IND)

DAKE S B

(Univ. Poona, Pune, IND)

BHORASKAR S V

(Univ. Poona, Pune, IND)

資料名：

Thin Solid Films (Thin Solid Films)

巻： 142 号： 1 ページ： 127-138 発行年： 1986年08月15日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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いろいろな方法で形成したAl2O3膜の評価

いろいろな方法で形成したAl₂O₃膜の評価