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文献
J-GLOBAL ID：200902087699451010
整理番号：87A0513553
熱電励起シリコン梁機械的共振器
Electrothermally excited silicon beam mechanical resonators.
OTHMAN M B
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
,
BRUNNSCHWEILER A
(Univ. Southampton, Southampton, GBR)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 23 号： 14 ページ： 728-730 発行年： 1987年07月02日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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