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文献
J-GLOBAL ID：200902088226609071
整理番号：86A0460454
N型〈100〉シリコンウエハ上の表面スタッキング欠陥の低減
Reduction of surface stacking faults on N-type 〈100〉 silicon wafers.
KOOB P W
(Monsanto Electronic Materials Co., Missouri)
,
FRAUNDORF G K
(Monsanto Electronic Materials Co., Missouri)
,
CRAVEN R A
(Monsanto Electronic Materials Co., Missouri)
資料名：
Journal of the Electrochemical Society
(Journal of the Electrochemical Society)
巻： 133 号： 4 ページ： 806-810 発行年： 1986年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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