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文献
J-GLOBAL ID：200902088242458733
整理番号：87A0202909
水晶のエッチングされた形状の実験的研究と数値的シミュレーション
Experimental study and numerical simulation of quartz crystal etched figures.
TELLIER C R
(E.N.S.M.M., Besancon, FRA)
,
VIALLE N
(E.N.S.M.M., Besancon, FRA)
,
VATERKOWSKI J L
(E.N.S.M.M., Besancon, FRA)
資料名：
Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium
(Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 40th ページ： 76-85 発行年： 1986年
JST資料番号： C0958A ISSN： 1075-6787 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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