文献
J-GLOBAL ID:200902088998681304
整理番号:87A0396241
IC用センサの微細構造の製作技術
Fabrication techniques for integrated sensor microstructures.
著者 (2件):
GUCKEL H
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
,
BURNS D W
(Univ. Wisconsin, WI, USA)
資料名:
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻:
1986
ページ:
176-179
発行年:
1986年
JST資料番号:
C0829B
ISSN:
0163-1918
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)