文献
J-GLOBAL ID:200902089455107558
整理番号:86A0388292
Al-TiおよびAl-Ti-Si系の合金薄膜
Al-Ti and Al-Ti-Si thin alloy films.
著者 (3件):
DIRKS A G
(Signetics Corp., California)
,
TIEN T
(Signetics Corp., California)
,
TOWNER J M
(Signetics Corp., California)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
59
号:
6
ページ:
2010-2014
発行年:
1986年03月15日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)