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文献
J-GLOBAL ID：200902090313349331
整理番号：92A0730369
Computer simulation of anisotropic crystal etching.
SEQUIN C H
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 34 号： 3 ページ： 225-241 発行年： 1992年09月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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