文献
J-GLOBAL ID:200902090448211186
整理番号:92A0688035
高品質Cu配線とその信頼性評価
Evaluating the Reliability of High Quality Copper Interconnects.
著者 (5件):
星司
(東北大 工)
,
竹脇利至
(東北大 工)
,
柴田直
(東北大 工)
,
大見忠弘
(東北大 工)
,
新田雄久
(日立 デバイス開セ)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
92
号:
186(SDM92 35-43)
ページ:
37-42
発行年:
1992年08月21日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)