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文献
J-GLOBAL ID：200902090649293547
整理番号：92A0031938
新しい超臨界流体輸送-化学蒸着法によるパラジウム薄膜の析出
Deposition of palladium films by a novel supercritical fluid transport-chemical deposition process.
HYBERTSON B M
(Univ. Colorado, CO)
,
HANSEN B N
(Univ. Colorado, CO)
,
BARKLEY R M
(Univ. Colorado, CO)
,
SIEVERS R E
(Univ. Colorado, CO)
資料名：
Materials Research Bulletin
(Materials Research Bulletin)
巻： 26 号： 11 ページ： 1127-1133 発行年： 1991年11月
JST資料番号： B0954A ISSN： 0025-5408 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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