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文献
J-GLOBAL ID：200902090902069764
整理番号：92A0256315
二次イオン質量分析計による垂直入射のO2+衝撃でのCr/Ni多層膜の深さ方向分布における界面の深さ方向分解能の著しい向上
Significant improvement in depth resolution of Cr/Ni interfaces by secondary ion mass spectrometry profiling under normal O2+ ion bombardment.
KIM K J
(Korea Research Inst. Standards and Science, Daejon, KOR)
,
MOON D W
(Korea Research Inst. Standards and Science, Daejon, KOR)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 60 号： 10 ページ： 1178-1180 発行年： 1992年03月09日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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