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文献
J-GLOBAL ID：200902091970111988
整理番号：88A0037061
アルカリ金属によるシリコンの窒化の電子的促進
Electronic promotion of silicon nitridation by alkali metals.
SOUKIASSIAN P
(Univ. Wisconsin-Madison, WI, USA)
,
BAKSHI M H
(Northern Illinois Univ., IL, USA)
,
STARNBERG H I
(Northern Illinois Univ., IL, USA)
,
HURYCH Z
(Northern Illinois Univ., IL, USA)
,
GENTLE T M
(Dow Corning Corp., MI, USA)
,
SCHUETTE K P
(Dow Corning Corp., MI, USA)
資料名：
Physical Review Letters
(Physical Review Letters)
巻： 59 号： 13 ページ： 1488-1491 発行年： 1987年09月28日
JST資料番号： H0070A ISSN： 0031-9007 CODEN： PRLTAO 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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