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文献
J-GLOBAL ID:200902092072761808   整理番号:90A0893179

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第2報) シリコンウエハ表面付着微粒子の測定

Designing a new apparatus for measuring particle sizes on nanometer order by light-scattering (2nd Report). Measurement for foreign particles on the surface of raw Si water.
著者 (5件):
森勇蔵
(大阪大 工)
安弘
(大阪電通大)
遠藤勝義
(大阪大 工)
山内和人
(大阪大 工)
井出たかし
(愛媛大 工)

資料名:
精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻: 56  号: 10  ページ: 1847-1852  発行年: 1990年10月 
JST資料番号: F0268A  ISSN: 0912-0289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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