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J-GLOBAL ID：200902092072761808 整理番号：90A0893179

光散乱法によるナノメータオーダの粒径測定法の開発 (第2報) シリコンウエハ表面付着微粒子の測定

Designing a new apparatus for measuring particle sizes on nanometer order by light-scattering (2nd Report). Measurement for foreign particles on the surface of raw Si water.

著者 (5件)：

森勇蔵

(大阪大工)

安弘

(大阪電通大)

遠藤勝義

(大阪大工)

山内和人

(大阪大工)

井出たかし

(愛媛大工)

資料名：

精密工学会誌 (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)

巻： 56 号： 10 ページ： 1847-1852 発行年： 1990年10月
JST資料番号： F0268A ISSN： 0912-0289 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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