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J-GLOBAL ID：200902092088257107 整理番号：92A0369324

n型β-SiCのレーザ促進光電気化学エッチング

Laser-Assisted Photoelectrochemical Etching of n-type Beta-SiC.

著者 (3件)：

SHOR J S

(Columbia Univ., New York)

ZHANG X G

(Columbia Univ., New York)

OSGOOD R M

(Columbia Univ., New York)

資料名：

Journal of the Electrochemical Society (Journal of the Electrochemical Society)

巻： 139 号： 4 ページ： 1213-1216 発行年： 1992年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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