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文献
J-GLOBAL ID：200902092169612327
整理番号：91A0537333
パルスプラズマ蒸着より得られる多成分窒化チタンの組織と有用な特性
Structure and useful properties of multi-component titanium nitride obtained by pulse plasma deposition.
MICHALSKI A
(Warsaw Univ. Technology, Warsaw, POL)
資料名：
Journal of Materials Science Letters
(Journal of Materials Science Letters)
巻： 10 号： 9 ページ： 503-505 発行年： 1991年05月01日
JST資料番号： D0919B ISSN： 0261-8028 CODEN： JMTSAS 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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