文献
J-GLOBAL ID:200902093549872565
整理番号:93A0058836
III-V化合物半導体用のOhm接触の最近の進歩
Recent developments in ohmic contacts for III-V compound semiconductors.
著者 (3件):
SHEN T C
(Univ. Illinois, Illinois)
,
GAO G B
(Univ. Illinois, Illinois)
,
MORKOC H
(Univ. Illinois, Illinois)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻:
10
号:
5
ページ:
2113-2132
発行年:
1992年09月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
1071-1023
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)