文献
J-GLOBAL ID:200902093587419254
整理番号:89A0517799
半導体におけるkeV粒子の衝突 分子動力学によるシミュレーション
keV particle bombardment of semiconductors: A molecular-dynamics simulation.
著者 (3件):
SMITH R
(Naval Postgraduate School, CA, USA)
,
HARRISON D E JR
(Naval Postgraduate School, CA, USA)
,
GARRISON B J
(Pennsylvania State Univ., PA, USA)
資料名:
Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics
(Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics)
巻:
40
号:
1
ページ:
93-101
発行年:
1989年07月01日
JST資料番号:
D0746A
ISSN:
1098-0121
CODEN:
PRBMDO
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)