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文献
J-GLOBAL ID:200902093904607096   整理番号:92A0199451

マイクロ波プラズマ化学蒸着によるβ-SiC上への組織状ダイアモンド成長

Textured diamond growth on (100) β-SiC via microwave plasma chemical vapor deposition.
著者 (2件):
STONER B R
(North Carolina State Univ., North Carolina)
GLASS J T
(North Carolina State Univ., North Carolina)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 60  号:ページ: 698-700  発行年: 1992年02月10日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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