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文献
J-GLOBAL ID：200902094184445120
整理番号：88A0407635
センサーとアクチュエータ用集積化可動超小型機構構造
Integrated movable micromechanical structures for sensors and actuators.
FAN L-S
(Univ. California, CA, USA)
,
TAI Y-C
(Univ. California, CA, USA)
,
MULLER R S
(Univ. California, CA, USA)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 35 号： 6 ページ： 724-730 発行年： 1988年06月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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