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文献
J-GLOBAL ID：200902094794088787
整理番号：81A0184897
シリコン上のSiO2薄膜のマイクロブリッジを用いてのマイクロヒータ及びマイクロボロメータ
Microheater and microbolometer using microbridge of SiO2 film on silicon.
KIMURA M
(Tohoku Gakuin Univ., Tagajo City)
資料名：
Electronics Letters
(Electronics Letters)
巻： 17 号： 2 ページ： 80-82 発行年： 1981年01月22日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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