文献
J-GLOBAL ID:200902095260040220
整理番号:89A0556802
高温における酸化物または窒化物の拡散障壁とアルミニウムまたは銅との相互作用の比較
A comparison between aluminum and copper interactions with high-temperature oxide and nitride diffusion barriers.
著者 (5件):
CHARAI A
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
HOERNSTROEM S E
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
THOMAS O
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
FRYER P M
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
,
HARPER J M E
(IBM Thomas J. Watson Research Center, New York)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
7
号:
3 Pt.1
ページ:
784-789
発行年:
1989年05月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)