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文献
J-GLOBAL ID：200902095791944905
整理番号：90A0343440
能動素子層を4層積み重ねた三次元IC
Three dimensional ICs, having four stacked active device layers.
KUNIO T
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
OYAMA K
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
HAYASHI Y
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
,
MORIMOTO M
(NEC Corp., Kanagawa, JPN)
資料名：
Technical Digest. International Electron Devices Meeting
(Technical Digest. International Electron Devices Meeting)
巻： 1989 ページ： 837-840 発行年： 1989年
JST資料番号： C0829B ISSN： 0163-1918 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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