文献
J-GLOBAL ID:200902095958659337
整理番号:84A0498072
スパッタアルミ・シリコン膜の新しい破壊メカニズム
New failure mechanisms in sputtered aluminum-silicon films.
著者 (6件):
CURRY J
(International Business Machines Corp., New York)
,
FITZGIBBON G
(International Business Machines Corp., New York)
,
GUAN Y
(International Business Machines Corp., New York)
,
MUOLLO R
(International Business Machines Corp., New York)
,
NELSON G
(International Business Machines Corp., New York)
,
THOMAS A
(International Business Machines Corp., New York)
資料名:
Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium
(Annual Proceedings. IEEE International Reliability Physics Symposium)
巻:
22nd
ページ:
6-8
発行年:
1984年
JST資料番号:
A0631A
ISSN:
1541-7026
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)