文献
J-GLOBAL ID:200902096475012223
整理番号:90A0638032
低周波における微細機構のアクチュエータとしての薄膜酸化亜鉛
Thin-film ZnO as micromechanical actuator at low frequencies.
著者 (6件):
BLOM F R
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
YNTEMA D J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
VAN DE POL F C M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
ELWENSPOEK M
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
FLUITMAN J H J
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
,
POPMA T J A
(Univ. Twente, Enschede, NLD)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
21
号:
1/3
ページ:
226-228
発行年:
1990年02月
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)