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文献
J-GLOBAL ID：200902096607986419
整理番号：93A0143653
オンウエハ析出化学固定拡散膜をもつけい素ベース塩素センサ I センサの基本概念
Silicon-based chlorine sensor with on-wafer deposited chemically anchored diffusion membrane. Part I. Basic sensor concept.
VAN DEN BERG A
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
KOUDELKA-HEP M
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
VAN DER SCHOOT B H
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
DE ROOIJ N F
(Univ. Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
,
VERNEY-NORBERG E
(Groupe Lyonnaise des Eaux, Ecully, FRA)
,
GRISEL A
(Microsens S.A., Neuch<span style=text-decoration:overline>a^</span>tel, CHE)
資料名：
Analytica Chimica Acta
(Analytica Chimica Acta)
巻： 269 号： 1 ページ： 75-82 発行年： 1992年11月02日
JST資料番号： A0394A ISSN： 0003-2670 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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