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文献
J-GLOBAL ID：200902097133337704
整理番号：83A0031957
シリコン中のスワール欠陥形成の機構
The mechanism of swirl defects formation in silicon.
VORONKOV V V
(Inst. Rarre Metals, Moscow)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 59 号： 3 ページ： 625-643 発行年： 1982年10月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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