文献
J-GLOBAL ID:200902097139376728
整理番号:91A0005847
一群の四重極形分圧分析計の測定学的特性
Metrological characteristics of a group of quadrupole partial pressure analyzers.
著者 (3件):
LIESZKOVSZKY L
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
FILIPPELLI A R
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
,
TILFORD C R
(National Inst. Standards and Technology, Maryland)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
8
号:
5
ページ:
3838-3854
発行年:
1990年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)