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J-GLOBAL ID：200902097635796389 整理番号：90A0718330

窒素及び(または)ほう素含有炭素膜の熱分解析出

Pyrolytic deposition of carbon films containing nitrogen and/or boron.

著者 (2件)：

MAYA L

(Oak Ridge National Lab., Tennessee)

HARRIS L A

(Oak Ridge National Lab., Tennessee)

資料名：

Journal of the American Ceramic Society (Journal of the American Ceramic Society)

巻： 73 号： 7 ページ： 1912-1916 発行年： 1990年07月
JST資料番号： C0253A ISSN： 0002-7820 CODEN： JACTAW 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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