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文献
J-GLOBAL ID：200902097808809996
整理番号：91A0776301
Progress in DUV Resins.
PRZYBILLA K
(Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU)
,
ROESCHERT H
(Hoechst AG IC Chemicals Division, Wiesbaden, DEU)
,
SPIESS W
(Hoechst AG IC Chemicals Division, Wiesbaden, DEU)
,
ECKES C
(Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU)
,
CHATTERJEE S
(Hoechst Celanese Corp., N.J., USA)
,
KHANNA D
(Hoechst Celanese Corp., R.I., USA)
,
PAWLOWSKI G
(Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU)
,
DAMMEL R
(Hoechst AG Central Research I, Frankfurt/M., DEU)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 1466 ページ： 174-187 発行年： 1991年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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