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文献
J-GLOBAL ID：200902098041374464
整理番号：86A0253800
シランの高周波(RF)放電における粒子分布およびレーザ-粒子相互作用
Particle distributions and laser-particle interactions in an RF discharge of silane.
SPEARS K G
(Northwestern Univ., IL)
,
ROBINSON T J
(Northwestern Univ., IL)
,
ROTH R M
(Amoco Corp., IL)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 14 号： 2 ページ： 179-187 発行年： 1986年04月
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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